Перехід до розробки і модернізації складних технологічних процесів виробництва мікроелектронної апаратури викликає необхідність зміни в методиці їх вивчення, аналізу та контролю, що вимагає знання фізики, хімії, електроніки і т.д. Велика кількість питань аналізу і контролю технологічних процесів носить математичний характер, вимагаючи застосування статистичних і теоретико-імовірнісних методів дослідження для обробки даних експерименту. Щоб підвищити продуктивність праці в цій галузі, фахівці повинні знати основи математичної теорії експерименту і успішно застосовувати її на практиці.
